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  • 檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "Shyan-Kay Jou".ecommittee (精準) and year="94"


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    1
    金(鈹)/砷化鋁鎵(100)晶片的薄膜結構研究
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 劉冠良   指導教授： 鄭偉鈞
    • 本實驗以適用於發光二極體的三元砷化鋁鎵(100)晶片系統，以熱蒸鍍法沉積金鈹合金於砷化鋁鎵晶片上，並使用快速升降溫爐及傳統管狀爐作熱處理，本論文以研究此晶片系統之金屬層的組成相為方向。 X光…
    • 點閱：208  下載：7 

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    金(鈹)/砷化鎵(100)晶片的薄膜結構研究
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 瞿旻德   指導教授： 鄭偉鈞
    • 本實驗以適用於紅外線二極體的砷化鎵(GaAs)晶片為基材，以熱蒸鍍法依序蒸鍍Au、AuBe及Au的薄膜於砷化鎵晶片後，再利用快速升降溫爐(RTA)或傳統管狀爐兩種不同之加熱方式，進行試片之歐姆接觸合…
    • 點閱：212  下載：9 

    3
    使用矽烷偶合劑及辛氟甲苯為原料之電漿輔助化學氣相沉積法製備低介電膜之研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 李坤翰   指導教授： 洪儒生
    • 本論文的長膜實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲苯(C7F8)為原料先驅物，藉由傳統平板式電漿輔助化學氣相沉積系統來成長低介…
    • 點閱：469  下載：2 

    4
    以不同氮源先驅物氣相磊晶氮化鋁薄膜之研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 林松禾   指導教授： 洪儒生
    • 本篇論文乃以不同氮源先驅物為原料的冷壁式低壓化學氣相沈積法，探討在不同基材上異質成長氮化鋁薄膜的相關議題。首先，單一分子先驅物三乙基胺•鋁烷(TEAA)的長膜在500oC的高溫下，會成長出以碳化鋁(…
    • 點閱：375  下載：3 

    5
    以二乙基一氯鎵為鎵源先驅物的氮化鎵原子層磊晶之研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 林繼宏   指導教授： 洪儒生
    • 本研究利用原子層磊晶(ALE)技術合成氮化鎵(GaN)及氮化銦鎵(InxGa1-xN)三元混晶膜。以二乙基一氯鎵(DEGaCl)及氨氣(NH3)作為反應原料，並選用已成長氮化鎵的藍寶石磊晶片為基材，…
    • 點閱：274  下載：0 
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